S300系列

· 耐污染、耐粉塵、耐腐蝕性能力

· 便于維修、性價比高、貨期短

所屬分類：

氣體流量測量和控制

電話：

S300系列

產(chǎn)品規(guī)格

	型號分類	S300·EtherCAT版	S300·D/A版
基本參數(shù)	介質(zhì)要求	潔凈干燥氣體
	介質(zhì)種類	空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、甲烷、氨氣、硅烷、三氯化硼、氯氣等
	量程¹ (氮氣等效)	(0~10,20,50,100,200,500)sccm (0~1,2,5,10,20,50)slm (0~100,200,400)slm ——量程≥100slm時，采用外置閥結(jié)構(gòu) ——其他量程可選，具體請詳詢本公司
	精度	±0.3%F.S.²(≤30%F.S.) ——%F.S.指誤差占滿量程的百分比 ±1.0%S.P.³(>30%F.S.) ——%S.P.指誤差占設(shè)定值的百分比
	量程比	50:1
	響應(yīng)時間⁴	控制器：≤1s 流量計：≤10ms ——響應(yīng)時間指達到設(shè)定值或最終穩(wěn)定值±2%以內(nèi)所需要的時間
	重復精度	≤±0.2%F.S.
	分辨率	0.01sccm,≤100sccm 1sccm,>100sccm
	漏率	氟橡膠密封：≤4×10-10Pam³/sHe 全金屬密封：≤1×10-12Pam³/sHe ——量程≥100slm時，全金屬密封版本暫不支持訂購
	最大耐壓	10bar
環(huán)境條件	工作溫度	0~50℃
	工作濕度	10%~90%R.H.(無結(jié)冰、無凝霜)
	工作壓力⁵	控制器：最大6bar(可定制) 流量計：10bar ——工作壓力指進氣口與出氣口之間的差壓
	儲存溫度	-20~85℃
電氣參數(shù)	供電電壓	DC24V(通過側(cè)面M8接口)	DC24V(通過頂部DB9M接口)
	頂部接口類型	RJ45雙網(wǎng)口(帶指示燈)	DB9M
	側(cè)面接口類型	M8航空插頭	RJ45雙網(wǎng)口(無指示燈)
	顯示屏	有，位于頂部	無
	通訊方式	EtherCAT	RS485、0~5V、4~20mA
	功耗	≤2.7W
	啟動時間	≤1s
通訊參數(shù)	EtherCAT	通過頂部RJ45接口進行通訊；設(shè)備地址為1(默認)-999, 可通過上位機或指令修改	無
	RS485	無	通過頂部DB9M接口或側(cè)面RJ45進行通訊；Modbus-RTU協(xié) 議、MKS協(xié)議可選；設(shè)備地址為1(默認)-99,通訊速率支持 9600,19200(默認),38400及其他，可通過頂部撥碼開關(guān)修改
	0-5V	無	通過頂部DB9M接口進行通訊(訂購時選擇);
	4-20mA	無	通過頂部DB9M接口進行通訊(訂購時選擇);
機械參數(shù)	接頭類型	卡套：1/4inch、1/2inch;VCR:1/4inch、1/2inch;其它可選
	氣體接觸材質(zhì)	氟橡膠密封：316L不銹鋼、氟橡膠、氮化硅；全金屬密封：316L不銹鋼 ——量程≥100slm時，全金屬密封版本暫不支持訂購
	主體材質(zhì)	底座：316L不銹鋼外殼：鋁合金
	密封材質(zhì)	FKM氟橡膠或全金屬
	重量	控制器：0.85kg~2.8kg 流量計：0.80kg