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產(chǎn)品和應(yīng)用領(lǐng)域
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E系列
· 抗電磁干擾
· 高精度、小體積
· 低溫漂、低漏率
· 抗污染、抗粉塵
· 響應(yīng)速度快、性價(jià)比高
E系列
E系列
產(chǎn)品規(guī)格
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基本參數(shù) |
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介質(zhì)要求 |
潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
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介質(zhì)種類 |
空氣、氮?dú)?、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氬氣?/p> |
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量程1 |
(0~10,20,50,100,200,500)sccm |
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精度 |
±0.8%F.S.2或±1.0%S.P.3 |
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量程比 |
100:1 |
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響應(yīng)時(shí)間4 |
≤1s |
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重復(fù)精度 |
≤±0.2%F.S. |
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分辨率 |
0.01sccm,≤100sccm |
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漏率 |
≤1×10-9Pam³/sHe |
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最大耐壓 |
9.8bar |
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環(huán)境條件 |
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工作溫度 |
0~50℃ |
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工作濕度 |
10%~90%R.H.(無結(jié)冰、無凝霜) |
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工作壓力5 |
0.5~4bar,>2slm |
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儲(chǔ)存溫度 |
-20~85℃ |
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電氣參數(shù) |
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供電電壓 |
DC24V |
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功耗 |
≤2.7W |
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啟動(dòng)時(shí)間 |
≤1s |
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通信接口 |
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接口類型 |
D-SUB9 |
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模擬控制 |
0~5V或4~20mA |
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數(shù)字控制 |
RS485或RS232 |
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數(shù)字信號(hào)(RS485/RS232) |
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接口類型 |
D-SUB9 |
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通信速率 |
9600(默認(rèn)),14400,19200,38400,56000, |
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協(xié)議 |
Modbus-RTU |
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設(shè)備地址 |
1(默認(rèn))~250 |
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機(jī)械參數(shù) |
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接頭類型 |
卡套：8mm、1/4inch、1/8inch |
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氣體接觸材質(zhì) |
316L不銹鋼、氟橡膠、二氧化硅 |
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主體材質(zhì) |
底座：316L不銹鋼 |
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密封材質(zhì) |
FKM氟橡膠 |
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重量 |
0.90kg |
備注
● 除非另有說明，本產(chǎn)品標(biāo)定于以下條件:氮?dú)狻?5°℃、2.5bar差壓(進(jìn)氣口3.5barA，出氣口 1barA)、水平放置。
● 建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能使測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)偏差。
● 建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭，以避免導(dǎo)致額外的壓損。
1. 所示量程為氮?dú)饪蛇x量程。
2. %F.S.指誤差占滿量程的百分比。
3. %S.P.指誤差占設(shè)定值的百分比。
4. 響應(yīng)時(shí)間指達(dá)到設(shè)定值±2%以內(nèi)所需要的時(shí)間。
5. 工作壓力指進(jìn)氣口與出氣口之間的差壓。
應(yīng)用領(lǐng)域
晶體爐
真空鍍膜
等離子清洗機(jī)
關(guān)鍵詞：
芯笙值得信賴
完善的技術(shù)、過硬的質(zhì)量、獨(dú)特的服務(wù)，始終引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展
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